세미콘코리아 전시회 등장 분사 시스템
[산업일보 장우영 기자]
반도체 및 전자 산업용 중점도 액체분사 시스템 제품군인 IntelliGen®MV 신제품이 출신돼, 전시회에서도 시연이 열리고 있다.
최첨단 반도체 및 전자 산업분야에서 불량개선 및 수율 향상을 위한 소재(Material)와 솔루션(Solution)을 제공하는 기업인 인테그리스(Entegris, Inc.)에 따르면 IntelliGen MV는 이미 성능이 입증된 IntelliGen Mini 및 IntelliGen HV 분사 시스템에 3D 반도체 및 MEMS 응용 분야에 최적화된 솔루션을 결합해 중점도 액체 분사 분야에서 고순도 여과 기술과 재현성을 보장하는 솔루션이다.
인테그리스의 최고 운영 책임자 토드 애덜런드(Todd Edlund)는 "3D 반도체와 MEMS 기술이 발전함에 따라 복잡해진 공정에 맞는 고속 처리량과 고순도 여과 기능을 요구하는 제조업체가 늘어나는 추세이다. 응용 분야마다 집약적인 실시간 관리 기능과 대화형 진단 및 피드백 기능이 필요하다
. IntelliGen MV 중점도 액체 분사 시스템은 새롭고 다양한 진단 및 감지 기능을 통해 불량률을 줄이고 레시피 프로그래밍을 단순화하며 액체 여과 필터의 프라이밍(priming) 속도를 개선해준다"고 말했다.
소형 설계 덕분에 트랙 하나에 여러 대를 설치할 수 있는 IntelliGen MV 분사 시스템은 100~300cP에 이르는 다양한 포토 케미컬을 동시에 처리해 필터의 여과 성능을 극대화하고 장비의 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있도록 한다.
새로운 IntelliGen MV 분사 시스템을 비롯해 다양한 인테그리스의 기상, 액상에 대한 오염 제어 및 웨이퍼(Wafer) 오염제어 솔루션은 6일까지 서울 COEX에서 열리는 세미콘 코리아 2015 전시회에서 시연을 펼치고 있다.
장우영 기자 wyjang@daara.co.kr
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